无尘车间（无尘室）不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点：对于300000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器；空气洁净度100级、1000级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、高效三级过滤器；青岛无尘室的中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段；高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。

　　无尘车间耗能大的主要原因可以归结为以下几点：

　　一、净化送风量大：不同净化级别的洁净室送风量与相同面积的舒适空调送风量相比是1.5-4.5倍，且送风风压也是其2-3倍，所以送风机的温升耗冷量很大。

　　二、洁净室空调净化系统的新风量大，通常情况下，新风量等于排风量与正压漏风量之和，所以生产工艺排风量大所以新风量就很大。为此，新风的热湿处理耗能也就很大。

　　三、洁净室中的工艺设备与工艺过程发热量大，且连续两班制运行，所以，耗能量大。

　　四、洁净室内生产工艺的温，湿度及精度要求较高，较严，所以这也是能耗大的原因。

     在设计和制作无尘车间时，厂家不仅要考虑车间的洁净需求，同时还要考虑车间后期使用中的节能问题。我国的经济和科技发展速度一直处于全世界领先水平，因此产品的更新换代和生产标准也变换的非常快，无尘车间要满足不断更新的生产需求，就必须持续更新内部的洁净设备。做好无尘车间的节能处理，不仅能提高设备的使用年限和效率，同时也能缩短设备的投资回收时间，那么节省成本有什么方法呢？

      1、运行应最大限度地利用室外空气冷却作用，并在此时增大新风比；

      2、工艺并非绝对要求值班风机运行保护的，应采用提前开机自净的办法；

      3、无尘车间应根据室外气象条件变化，通过自控或手控即能调整设备出力；

      4、无尘车间通风机转速使其压头可以控制，不要总处于最大压头或最大风量运行的工况；

      5、无尘车间送风、排风、新风之间应切换自如，如生产停止、排风柜也应停止或减小风量，新风也应调小；

      6、缩小洁净空间体积，如洁净隧道或隧道式无尘车间，根据生产要求把洁净空间划分为洁净度级别不同的工艺区、操作区、维修区和通道区。

     好的青岛无尘室节能安装设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本低，洁净度安全性高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势